Le travail consiste à résoudre le problème direct par réseaux de neurones (PMC). Au départ ce problème se résolvait par la méthode modale par développement de Fourier. Pour notre étude, La résolution de ce problème consiste à la détermination de la signature Scatterométrique théorique d’un réseau périodique (intensités lumineuses) connaissant certains paramètres (dimensions géométriques, indices des matériaux, période et la longueur d’onde etc.). L’étude est de créer un RN et de lui fournir les dimensions du profil et de déterminer les intensités lumineuses (Is et Ic), puis comparer les signatures calculées par la MMMFE et le RN en calculant l’erreur quadratique et tracer les courbes de comparaison de ces signatures.